真空機組的生產工藝流程。
在真空泵工作時,由于泵內壓力低于大氣壓,故氣體分子的平均自由程變小,氣體分子在真空泵中停留的時間變短,從而提高了氣體分子的抽速。當氣體分子到達泵壁時,由于泵壁的溫度低于氣體的溫度,氣體分子將在泵壁上凝結,從而減少了氣體的抽速。當泵內的氣體分子濃度達到一定值時,泵的抽速將不再增加,此時泵的工作狀態稱為極限狀態。
真空機組的生產工藝流程是將真空泵、真空過濾器、真空干燥器、真空泵油、真空泵油過濾器、真空泵油加熱器、真空泵油冷卻器、真空泵油泵、真空泵油冷卻器、真空泵油過濾器、真空泵油加熱器、真空泵油泵、真空泵油冷卻器、真空泵油過濾器、真空泵油加熱器、真空泵油冷卻器、真空泵油泵、真空泵油冷卻器、真空泵油過濾器、真空泵油加熱器、真空泵油冷卻器、真空泵油泵、真空泵油冷卻器、真空泵油過濾器、真空泵油加熱器、真空泵油冷卻器、真空泵油泵、真空泵油冷卻器、真空泵油過濾器、真空泵油加熱器、真空泵油冷卻器、真空泵油泵、真空泵油冷卻器、真空泵油過濾器、真空泵油加熱器、真空泵油冷卻器、真空泵油泵、真空泵油冷卻器、真空泵油過濾器、真空泵油加熱器、真空泵油冷卻器、真空泵油泵、真空泵油冷卻器、真空泵油過濾器、真空泵油加熱器、真空泵油冷卻器、真空泵油泵、真空泵油冷卻器、真空泵油過濾器、真空泵油加熱器、真空泵油冷卻器、真空